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分子泵組的設計理念

日期:2022-05-14 04:26
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摘要:
 
      分子泵組是分子泵與前級泵的串聯組合,集兩種泵的優點於一體。泵在很寬的壓力範圍內 ((10-6~大氣) 工作。
      在複合分子泵的設計中,必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關係。由於渦輪級有較大的抽氣麵積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣麵積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。因此,在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構,以提高泵的抽氣性能。
      隨著複合分子泵的不斷改進,其應用領域越來越廣,在某些抽氣係統上可以替代擴散泵,縮短了係統的抽氣時間,並可獲得無油汙染的清潔真空環境。



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