产品详情
  • 产品名称:倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪

  • 产品型号:CY-MSP180G-AR
  • 产品厂商:和记官网
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简单介绍:
本设备为倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪,样品台与靶面的角度可调,可用于制作特定生长角度的薄膜。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。
详情介绍:

本设备为倾斜样品台式单靶磁控镀膜仪,样品台与靶面的角度可调,可用于制作特定生长角度的薄膜。设备外形为桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源,可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组,抽气速度快,极限真空度高,真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。

倾斜样品台式单靶磁控技术参数:

CY-MSP180G-ARadjustable Angel rotate) 倾斜样品台式单靶磁控

样品台

尺寸

φ60mm

转速

转速0-20rpm可调

磁控溅射靶

数量

2” x1  

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm X 150mm

观察窗口

全向可视

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

下法兰

含有样品台倾斜机构及旋转机构

真空系统

机械泵

双级旋片泵

抽气接口

KF16

分子泵

涡轮分子泵

抽气接口

KF40

真空测量

电阻规+电离规

排气接口

KF40

极限真空

1.0E-3Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

前级泵 1.1L/s 分子泵:60L/S

电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

直流电源300W

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

500mm X 320mm X6200mm

整机功率

2kW

 

 



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